近日，在“2025年山東省智能裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展交流活動暨2025年度（第六屆）山東省裝備制造業(yè)科技創(chuàng)新發(fā)展大會"上，魔技納米憑借“微納三維制造及其光敏材料關鍵技術及應用"項目的突破性技術創(chuàng)新與顯著產(chǎn)業(yè)價值，成功摘得“2025年度山東省裝備制造業(yè)科技創(chuàng)新獎一等獎"！

這是我司該成果繼2025年7月斬獲“山東省工程師協(xié)會工程科學技術獎一等獎"、9月獲評“2024年度中國好技術A類"及“山東電子學會科學技術獎二等獎"后，科技實力再獲省級認證！

魔技納米團隊深耕微納制造十余年，此次獲獎的成果，實現(xiàn)了工業(yè)級裝備的重大技術突破，形成三大系列商用裝備，構(gòu)建了“設備-材料-工藝"的全鏈條交付能力，技術和裝備整體技術水平達到“世界水準"水準！

成果突破三維微納結(jié)構(gòu)超高精度制造技術，最小特征尺寸≤50nm，實現(xiàn)500×500mm2大面積加工；自主研發(fā)Nano Boost Printer超高速技術平臺，突破傳統(tǒng)路徑掃描方式速度和精度的限制，單點實現(xiàn)10-200倍速度提升，突破量產(chǎn)瓶頸；建立工業(yè)級微納三維光刻裝備穩(wěn)定性技術體系，已交付設備無問題運行≥50個月；自主研制15種光刻膠，實現(xiàn)材料國產(chǎn)化替代，建立跨領域工藝體系，在生物醫(yī)療、光通信等場景實現(xiàn)高效批量應用。