近日，在“2025年山東省智能裝備產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新發(fā)展交流活動(dòng)暨2025年度（第六屆）山東省裝備制造業(yè)科技創(chuàng)新發(fā)展大會(huì)"上，魔技納米憑借“微納三維制造及其光敏材料關(guān)鍵技術(shù)及應(yīng)用"項(xiàng)目的突破性技術(shù)創(chuàng)新與顯著產(chǎn)業(yè)價(jià)值，成功摘得“2025年度山東省裝備制造業(yè)科技創(chuàng)新獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)"！

這是我司該成果繼2025年7月斬獲“山東省工程師協(xié)會(huì)工程科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)一等獎(jiǎng)"、9月獲評(píng)“2024年度中國(guó)好技術(shù)A類"及“山東電子學(xué)會(huì)科學(xué)技術(shù)獎(jiǎng)二等獎(jiǎng)"后，科技實(shí)力再獲省級(jí)認(rèn)證！

魔技納米團(tuán)隊(duì)深耕微納制造十余年，此次獲獎(jiǎng)的成果，實(shí)現(xiàn)了工業(yè)級(jí)裝備的重大技術(shù)突破，形成三大系列商用裝備，構(gòu)建了“設(shè)備-材料-工藝"的全鏈條交付能力，技術(shù)和裝備整體技術(shù)水平達(dá)到“世界水準(zhǔn)"水準(zhǔn)！

成果突破三維微納結(jié)構(gòu)超高精度制造技術(shù)，最小特征尺寸≤50nm，實(shí)現(xiàn)500×500mm2大面積加工；自主研發(fā)Nano Boost Printer超高速技術(shù)平臺(tái)，突破傳統(tǒng)路徑掃描方式速度和精度的限制，單點(diǎn)實(shí)現(xiàn)10-200倍速度提升，突破量產(chǎn)瓶頸；建立工業(yè)級(jí)微納三維光刻裝備穩(wěn)定性技術(shù)體系，已交付設(shè)備無(wú)問(wèn)題運(yùn)行≥50個(gè)月；自主研制15種光刻膠，實(shí)現(xiàn)材料國(guó)產(chǎn)化替代，建立跨領(lǐng)域工藝體系，在生物醫(yī)療、光通信等場(chǎng)景實(shí)現(xiàn)高效批量應(yīng)用。